Tunneling atomic force microscopy for the nanoscale electrical and physical characterization of thin gate oxide films in different surrounding ambient

Wael Hourani (1) , Brice Gautier (2) , Liviu Militaru (2) , David Albertini (3) , Armel Descamps-Mandine (4) , Antonin Grandfond (2) , Richard Arinero (5, 6)

1 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
4 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
5 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
6 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Wael Hourani, Brice Gautier, Liviu Militaru, David Albertini, Armel Descamps-Mandine, et al.. Tunneling atomic force microscopy for the nanoscale electrical and physical characterization of thin gate oxide films in different surrounding ambient. International Scanning Probe Microscopy Conference (ISPM), Jun 2011, Munich, Germany. ⟨hal-01811957⟩