MEMS Characterization - A new experimental approach for measuring electrical contact resistance by using nanoindentation. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

MEMS Characterization - A new experimental approach for measuring electrical contact resistance by using nanoindentation.

C. Seguineau
  • Fonction : Auteur
A. Broue
  • Fonction : Auteur
J. Dhennin
  • Fonction : Auteur
J.M. Desmarres
  • Fonction : Auteur
Arnaud Pothier
X. Lafontan
  • Fonction : Auteur
M. Ignat
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00199601 , version 1 (19-12-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00199601 , version 1

Citer

C. Seguineau, A. Broue, J. Dhennin, J.M. Desmarres, Arnaud Pothier, et al.. MEMS Characterization - A new experimental approach for measuring electrical contact resistance by using nanoindentation.. 18th Workshop on MicroMechanics Europe, Sep 2007, Guimarães, Portugal. pp.281-284. ⟨hal-00199601⟩

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