Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 2002
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328833
Soumis le : lundi 30 août 2021-13:52:41
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328833 , version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(01)00886-X
Citer
C. Gourbeyre, T. Chassagne, Martine Le Berre, G. Ferro, E. Gautier, et al.. Correlation between epitaxial growth conditions of 3C–SiC thin films on Si and mechanical behavior of 3C–SiC self-suspended membranes. Sensors and Actuators A: Physical , 2002, 99 (1-2), pp.31-34. ⟨10.1016/S0924-4247(01)00886-X⟩. ⟨hal-03328833⟩
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