Article Dans Une Revue
physica status solidi (a)
Année : 2015
Jocelyn ACHARD : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02493651
Soumis le : vendredi 28 février 2020-08:25:56
Dernière modification le : mardi 12 mars 2024-03:22:56
Citer
Benoit Baudrillart, Fabien Benedic, Ovidiu Brinza, Thomas Bieber, Thierry Chauveau, et al.. Microstructure and growth kinetics of nanocrystalline diamond films deposited in large area/low temperature distributed antenna array microwave-plasma reactor. physica status solidi (a), 2015, 212 (11), pp.2611-2615. ⟨10.1002/pssa.201532276⟩. ⟨hal-02493651⟩
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