Thermal stability of Pt/Cr and Pt/Cr2O3 thin-film layers on a SiNx/Si substrate for thermal sensor applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2013

Thermal stability of Pt/Cr and Pt/Cr2O3 thin-film layers on a SiNx/Si substrate for thermal sensor applications

Domaines

Electronique
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02051981 , version 1 (28-02-2019)

Identifiants

Citer

Alexandra Garraud, Philippe Combette, Alain Giani. Thermal stability of Pt/Cr and Pt/Cr2O3 thin-film layers on a SiNx/Si substrate for thermal sensor applications. Thin Solid Films, 2013, 540, pp.256-260. ⟨10.1016/j.tsf.2013.06.012⟩. ⟨hal-02051981⟩
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