Influence of Site Competition Effects on Dopant Incorporation during Chemical Vapor Deposition of 4H-SiC Epitaxial Layers
Roxana Arvinte
(1)
,
Marcin Zielinski
(2)
,
Thierry Chassagne
(3)
,
Marc Portail
(1)
,
Adrien Michon
(4)
,
Pawel Kwasnicki
(5)
,
Sandrine Juillaguet
(5)
,
Hervé Peyre
(5)
Roxana Arvinte
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Marc Portail
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Adrien Michon
- Fonction : Auteur
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