Piezoelectric thick film sensors: Fabrication and characterization

F. Very (1) , P. Combette (1, 2) , D. Coudouel (1) , Alain Giani (1, 2) , E. Rosenkrantz (1, 2) , D. Fourmentel (3) , Jean-Yves Ferrandis (1, 2)

1 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
2 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
3 CEA-DES (ex-DEN) - CEA-Direction des Energies (ex-Direction de l'Energie Nucléaire)

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Acoustique [physics.class-ph]

F. Very, P. Combette, D. Coudouel, Alain Giani, E. Rosenkrantz, et al.. Piezoelectric thick film sensors: Fabrication and characterization. 2013 Joint IEEE Int'l Symp on Applications of Ferroelectrics & Workshop on Piezoresponse Force Microscopy (ISAF/PFM), Jul 2013, Prague, Czech Republic. ⟨10.1109/ISAF.2013.6748690⟩. ⟨hal-01784757⟩