Near field optical probe manufacturing using organo mineral materiel and sol gel process

Pascal Falgayrettes (1, 2) , K. Kribich (1, 2) , E.L. Nativel (1, 2) , Bachar Mourched (1) , Pascale Gall-Borrut (1, 2) , Benoit Belier (3)

1 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
2 TéHO - Térahertz, hyperfréquence et optique
3 IEF - Institut d'électronique fondamentale

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Optique / photonique

Pascal Falgayrettes, K. Kribich, E.L. Nativel, Bachar Mourched, Pascale Gall-Borrut, et al.. Near field optical probe manufacturing using organo mineral materiel and sol gel process. France, Patent n° : EP 2477 038 A1. 2012. ⟨hal-01764570⟩