Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Anne-Lise THOMANN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01290726
Soumis le : vendredi 18 mars 2016-14:28:21
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01290726 , version 1
Citer
Anne-Lise Thomann, Amaël Caillard, El Mokh Mariem, Nadjib Semmar, Remi Dussart, et al.. Energy flux diagnostics in thin film deposition by magnetron sputtering. XXXII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Jul 2015, Iasi, Romania. ⟨hal-01290726⟩
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