Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Sylvie Garcia : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01148255
Soumis le : lundi 4 mai 2015-11:47:47
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:00
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01148255 , version 1
Citer
Sandrine Madassamy, Frédéric Voiron, A. P. Nguyen, Aude Lefèvre, Guy Parat, et al.. Leakage Current and Reliability on Planar High-k Capacitor with Al2O3 Dielectric Deposited by Thermal-ALD. Materials Research Society (MRS) Spring Meeting, Apr 2015, San Francisco, United States. ⟨hal-01148255⟩
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