Gate-last integration on planar FDSOI for low-VTp and low-EOT MOSFETs
S. Morvan
(1)
,
F. Andrieu
(2)
,
Cédric Leroux
,
X. Garros
,
M. Casse
(3)
,
F. Martin
(4)
,
R. Gassilloud
,
Y. Morand
(5)
,
C. Le Royer
(2)
,
P. Besson
(6)
,
M.C. Roure
,
C. Euvrard
,
M. Rivoire
,
A. Seignard
,
L. Desvoivres
,
S. Barnola
(2)
,
N. Allouti
,
P. Caubet
,
U. Weber
,
P.K. Baumann
,
O. Weber
,
L. Tosti
,
P. Perreau
,
F. Ponthenier
,
G. Ghibaudo
(7)
,
T. Poiroux
1
LGENS -
Laboratoire de géologie de l'ENS
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 DAPNIA - Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
4 GET - Géosciences Environnement Toulouse
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
6 UMR CNRS 8179
7 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 DAPNIA - Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
4 GET - Géosciences Environnement Toulouse
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
6 UMR CNRS 8179
7 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
Cédric Leroux
- Fonction : Auteur
X. Garros
- Fonction : Auteur
R. Gassilloud
- Fonction : Auteur
M.C. Roure
- Fonction : Auteur
C. Euvrard
- Fonction : Auteur
M. Rivoire
- Fonction : Auteur
A. Seignard
- Fonction : Auteur
L. Desvoivres
- Fonction : Auteur
N. Allouti
- Fonction : Auteur
P. Caubet
- Fonction : Auteur
U. Weber
- Fonction : Auteur
P.K. Baumann
- Fonction : Auteur
O. Weber
- Fonction : Auteur
L. Tosti
- Fonction : Auteur
P. Perreau
- Fonction : Auteur
F. Ponthenier
- Fonction : Auteur
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099
T. Poiroux
- Fonction : Auteur