Scanning probe lithography techniques - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2010

Scanning probe lithography techniques

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00996097 , version 1 (26-05-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00996097 , version 1

Citer

Vincent Bouchiat. Scanning probe lithography techniques. Stephan Landis. Nano-lithography, John Wiley & Sons, pp.253, 2010, 9781848212114. ⟨hal-00996097⟩

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