AlN and ZnO thin films deposited by Pulsed Laser Deposition (PLD) for surface acoustic wave devices - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

AlN and ZnO thin films deposited by Pulsed Laser Deposition (PLD) for surface acoustic wave devices

Perrine Dutheil
  • Fonction : Auteur
Jean-Christophe Orlianges
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Corinne Champeaux
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV
Anne Roemer
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 762046
  • IdRef : 098858653
Laboratoire de Spectrométrie de Masse et de Chimie Laser
Alain Catherinot
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915830
Axe 2 : procédés de traitements de surface

Véronique Maury  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00735793

Soumis le : mercredi 26 septembre 2012-17:42:29

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00735793 , version 1 (26-09-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00735793 , version 1

Citer

Perrine Dutheil, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Corinne Champeaux, Anne Roemer, et al.. AlN and ZnO thin films deposited by Pulsed Laser Deposition (PLD) for surface acoustic wave devices. European Material Research Society (E-MRS), May 2012, Strasbourg, France. Paper, P1.50. ⟨hal-00735793⟩

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