Development and characterization of microplasma arrays on Silicon
Remi Dussart
(1)
,
Thierry Dufour
(1)
,
Mukesh Kulsreshath
(1)
,
Valentin Felix
(1)
,
Laurent Schwaederlé
(1)
,
Philippe Lefaucheux
(1)
,
Thomas Tillocher
(1)
,
N. Sadeghi
(2, 3)
,
Leanne Pitchford
(4)
,
V. Schulz-von Der Gathen
(5)
,
Lawrence J. Overzet
(6)
1
GREMI -
Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 LSP - Laboratoire de Spectrométrie Physique
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 LAPLACE - LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie
5 Institute for Applied Plasma Physics
6 PAL - Plasma Application Laboratory
2 LSP - Laboratoire de Spectrométrie Physique
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 LAPLACE - LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie
5 Institute for Applied Plasma Physics
6 PAL - Plasma Application Laboratory
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Thierry Dufour
- Fonction : Auteur
- PersonId : 8227
- IdHAL : thierry-dufour
- ORCID : 0000-0002-0397-368X
- IdRef : 142561312
Mukesh Kulsreshath
- Fonction : Auteur
- PersonId : 871588
Valentin Felix
- Fonction : Auteur
- PersonId : 926309
Laurent Schwaederlé
- Fonction : Auteur
- PersonId : 919820
Philippe Lefaucheux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874204
Thomas Tillocher
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7479
- IdHAL : thomas-tillocher
- ORCID : 0000-0002-9160-5595
- IdRef : 120339072
N. Sadeghi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 871784
Leanne Pitchford
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1102908
- IdRef : 072249838