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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

ALD/PEALD CMOS Compatible Oxide for Resistive RAM

A. Salaün
  • Fonction : Auteur
V. Beugin
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H. Grampeix
  • Fonction : Auteur
C. Licitra
N. Rochat
  • Fonction : Auteur
E. Martinez
P. Gergaud
  • Fonction : Auteur
P. Gonon
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Laboratoire des technologies de la microélectronique
Corentin Vallée
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Mannequin
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Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Gaumer
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S. Jeannot
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J. Buckley
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V. Jousseaume
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
J.P. Barnes
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M. Veillerot
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F. Pierre
I. Kieffer
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Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00650184

Soumis le : vendredi 9 décembre 2011-15:17:00

Dernière modification le : mercredi 15 mai 2024-13:42:16

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00650184 , version 1 (09-12-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00650184 , version 1

Citer

A. Salaün, V. Beugin, H. Grampeix, C. Licitra, N. Rochat, et al.. ALD/PEALD CMOS Compatible Oxide for Resistive RAM. 58th National Symposium AVS, Oct 2011, Nashville, United States. ⟨hal-00650184⟩

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