High Q Tunable Cavity Using Air-MEMS Varactors

Romain Stefanini 1 Matthieu Chatras 1 Arnaud Pothier 1 Pierre Blondy 1 Jean-Christophe Orlianges 2
1 MINACOM
XLIM - XLIM
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00619160
Contributor : Véronique Maury <>
Submitted on : Monday, September 5, 2011 - 4:08:39 PM
Last modification on : Wednesday, February 14, 2018 - 4:29:38 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00619160, version 1

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Citation

Romain Stefanini, Matthieu Chatras, Arnaud Pothier, Pierre Blondy, Jean-Christophe Orlianges. High Q Tunable Cavity Using Air-MEMS Varactors. 11th International Symposium on RF Microsystems, MEMSWAVE 2010, Jun 2010, Otranto, Italy. ⟨hal-00619160⟩

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