Communication Dans Un Congrès
Année : 2010
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https://hal.science/hal-00568962
Soumis le : jeudi 24 février 2011-09:05:21
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00568962 , version 1
Citer
C. Wu, F. Bendriaa, F. Brunelle, V. Senez. Fabrication of AD/DA microfluidic converter using deep reactive ion etching of silicon and low temperature wafer bonding. 36th International Conference on Micro & Nano Engineering, MNE 2010, 2010, Italy. pp.1-2. ⟨hal-00568962⟩
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