Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2010
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https://hal.science/hal-00548602
Soumis le : lundi 20 décembre 2010-10:01:41
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00548602 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/20/9/095010
Citer
S. Seok, N. Rolland, P.A. Rolland. A theoretical and experimental study of the BCB thin-film cap zero-level package based on FEM simulations. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20, pp.095010-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/20/9/095010⟩. ⟨hal-00548602⟩
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