Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00488400
Soumis le : mardi 1 juin 2010-20:01:50
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00488400 , version 1
Citer
E. Blanquet, R. Boichot, A. Mantoux, C. Chatillon, I. Nuta, et al.. Experimental ant Thermodynamics for the Evaluation of Atomic Layer Deposition processes.. ICMCTF - international Conference Metallurgical Coatings and Thin Films, Apr 2009, SAN DIEGO, United States. ⟨hal-00488400⟩
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