Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00461058
Soumis le : mercredi 3 mars 2010-11:20:25
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461058 , version 1
Citer
M. Saïb, C. Constancias, P. Michallon, B. Dalzotto, M. Besacier. Disturbance effects in EUV interferometric lithography affecting interference fringes. MNC Conference, 2009, Sapporo, Japan. ⟨hal-00461058⟩
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