Oxynitride perovskites LaTiOxNy thin films for microwave applications

Ahmed Ziani (1) , Claire Le Paven-Thivet (2) , Laurent Le Gendre (2) , Didier Fasquelle (3) , Jean-Claude Carru (3) , Franck Tessier (4) , Jacques Pinel (1)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Ahmed Ziani, Claire Le Paven-Thivet, Laurent Le Gendre, Didier Fasquelle, Jean-Claude Carru, et al.. Oxynitride perovskites LaTiOxNy thin films for microwave applications. Journées Couches Minces Ferroélectriques JCMF 2006 - Rencontre Franco-Ukrainienne de la Ferroélectricité RFUF MEETING 4, Nov 2006, Amiens, France. ⟨hal-00437679⟩