Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2005

Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur

S. Monfray
  • Fonction : Auteur
P. Ancey
  • Fonction : Auteur
T. Skotnicki
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00372408

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-10:24:01

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372408 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372408 , version 1

Citer

S. Monfray, P. Ancey, T. Skotnicki, K. Segueni. Résonateur électromécanique et procédé de fabrication d'un tel résonateur. N° de brevet: FR2857952 (A1). 2005. ⟨hal-00372408⟩

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