Microsystème électromécanique comprenant une poutre se déformant par flexion - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2006

Microsystème électromécanique comprenant une poutre se déformant par flexion

F. Casset
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
A. de Grave
  • Fonction : Auteur
N. Abele
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00372354

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-08:53:18

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372354 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372354 , version 1

Citer

F. Casset, K. Segueni, A. de Grave, N. Abele. Microsystème électromécanique comprenant une poutre se déformant par flexion. N° de brevet: FR2883560 (A1). 2006. ⟨hal-00372354⟩

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