Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
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https://hal.science/hal-00361114
Soumis le : vendredi 13 février 2009-10:00:01
Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:30:09
Citer
S. Touati, N. Lorphelin, A. Kanciurzewski, R. Robin, A.S. Rollier, et al.. Low actuation voltage totally free flexible RF MEMS switch with antistiction system. Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, 2008, France. pp.66-70, ⟨10.1109/DTIP.2008.4752954⟩. ⟨hal-00361114⟩
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