Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2008
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00360094
Soumis le : mardi 10 février 2009-11:41:26
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
R.H. Liang, Denis Remiens, Caroline Soyer, N. Sama, X.L. Dong, et al.. Etching characteristics and absence of electrical properties damage of PZT thin films etched before crystallization. Microelectronic Engineering, 2008, 85, pp.670-674. ⟨10.1016/j.mee.2007.12.031⟩. ⟨hal-00360094⟩
Collections
24
Consultations
0
Téléchargements