The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics Année : 2007

The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires

A.A. Efremov
  • Fonction : Auteur
A. Klimovskaya
  • Fonction : Auteur
D. Hourlier
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00255783

Soumis le : jeudi 14 février 2008-10:08:34

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00255783 , version 1 (14-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00255783 , version 1

Citer

A.A. Efremov, A. Klimovskaya, D. Hourlier. The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires. Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2007, 10, pp.18-26. ⟨hal-00255783⟩

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