Article Dans Une Revue
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Année : 2005
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https://hal.science/hal-00183524
Soumis le : mardi 30 octobre 2007-09:06:47
Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:17:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00183524 , version 1
Citer
Lionel Hirsch, Pascal Tardy, Guillaume Wantz, Nolwen Huby, P. Moretto, et al.. Light-ion beam analysis for microelectronic applications. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2005, 240, pp.1. ⟨hal-00183524⟩
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