Large grain polySiC boules for wafer-bounding
G. Chichignoud
(1)
,
E. Blanquet
(1)
,
M. Anikin
(1)
,
J.M. Bluet
(1)
,
P. Chaudouët
(1)
,
C. Moisson
(1)
,
Etienne Pernot
(1)
,
Michel Mermoux
(1)
,
F. Letertre
(1)
,
M. Pons
(1)
,
R. Madar
(1)
G. Chichignoud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9703
- IdHAL : guy-chichignoud
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E. Blanquet
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : elisabeth-blanquet
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J.M. Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448
Michel Mermoux
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : michel-mermoux
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M. Pons
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174847
- IdHAL : michel-pons
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- IdRef : 077856112