Communication Dans Un Congrès
Année : 2003
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https://hal.science/hal-00146402
Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:30:36
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00146402 , version 1
Citer
J. Katcki, J. Ratajczak, A. Laszcz, F. Phillipp, Emmanuel Dubois, et al.. Electron microscopy analysis of MOSFET structures. IEEE 6th Symposium Diagnostics and Yield 2003, Jun 2003, Warsaw, Poland. pp.67-70. ⟨hal-00146402⟩
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