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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Numerical analysis of the process induced stresses in micromachined cantilever

V. Senez
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
T. Hoffmann
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00141034

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-11:21:24

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00141034 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00141034 , version 1

Citer

V. Senez, T. Hoffmann. Numerical analysis of the process induced stresses in micromachined cantilever. 2004, pp.126-131. ⟨hal-00141034⟩

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