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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Transmission Electron Microscopy analysis of MOSFET structures

A. Laszcz
  • Fonction : Auteur
J. Katcki
  • Fonction : Auteur
J. Ratajczak
  • Fonction : Auteur
Emmanuel Dubois
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
X. Wallart
Xing Tang
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00140997

Soumis le : mercredi 11 avril 2007-10:44:49

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00140997 , version 1 (11-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00140997 , version 1

Citer

A. Laszcz, J. Katcki, J. Ratajczak, Emmanuel Dubois, G. Larrieu, et al.. Transmission Electron Microscopy analysis of MOSFET structures. School on Materials Science and Electron Microscopy, Emerging Microscopy for Advanced Materials Development-Imaging and Spectroscopy on Atomic Scale, 2004, Berlin, Germany. ⟨hal-00140997⟩

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