Communication Dans Un Congrès
Année : 2004
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https://hal.science/hal-00140776
Soumis le : mardi 10 avril 2007-10:41:59
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00140776 , version 1
Citer
Bertrand Bocquet, Nour Eddine Bourzgui, Yannick Guhel, Vianney Mille. Design of silicon-pTMDS bioMEMS by cold RPECVD. Nonimaging Optics and Efficient Illumination Systems, Aug 2004, Denver, CO, United States. pp.118-129. ⟨hal-00140776⟩
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