Article Dans Une Revue
Smart Materials and Structures
Année : 2006
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00130876
Soumis le : mercredi 14 février 2007-10:47:24
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00130876 , version 1
Citer
V. Senez, T. Hoffmann, A. Armigliato, I. de Wolf. Numerical analysis of the process induced stresses in silicon microstructures : application to micromachined cantilever. Smart Materials and Structures, 2006, 15, pp.S47-S56. ⟨hal-00130876⟩
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