Article Dans Une Revue
(Article De Synthèse)
Materials Science and Engineering: B
Année : 1997
Yannick GUYOT : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04398621
Soumis le : mardi 16 janvier 2024-17:56:59
Dernière modification le : jeudi 16 mai 2024-13:06:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04398621 , version 1
- DOI : 10.1016/S0921-5107(96)01925-3
Citer
Y. Guyot, C. Malhaire, M. Le Berre, B. Champagnon, A. Sibai, et al.. Micro-Raman study of thermoelastic stress distribution in oxidized silicon membranes and correlation with finite element modeling. Materials Science and Engineering: B, 1997, 46 (1-3), pp.24-28. ⟨10.1016/S0921-5107(96)01925-3⟩. ⟨hal-04398621⟩
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