Détermination des paramètres COM (Or/LiNbO3 YX 128°) pour la conception des capteurs SAW
Résumé
La théorie du couplage des modes (COM) prend en compte les réflexions multiples et l'interaction acousto-électrique entre les ondes acoustiques de surface (SAW) ainsi qu’avec le réseau des électrodes métalliques ce qui offre la possibilité de réaliser des modélisations d'une grande variété de dispositifs SAW. Le travail présenté fait partie d’un projet de développement des capteurs de pression à base des SAW pour des environnements sévères. Selon la configuration des transducteurs interdigités (IDT) utilisée, ces capteurs seront soit montés en circuit circulateur soit interrogés à distance sans fil. Pour cette raison une détermination précise de paramètres COM est nécessaire afin de prédire le comportement de la phase (cas de circulateur) et la réflectivité des électrodes (cas de sans fil). Les paramètres COM ont été calculés numériquement en utilisant le logiciel FEMSDA pour des électrodes en Or déposées sur un substrat de niobate de lithium (LiNbO<sub>3</sub> YX 128°). Les résultats de ces calculs ont été validés expérimentalement en utilisant un résonateur SAW synchrone à 1 porte fonctionnant à 107 MHz. Par la résolution de problème inverse il a été montré que les valeurs extraites expérimentalement se trouvent dans la gamme de 2 à 10% par rapport aux valeurs calculées. Ces paramètres nous ont permis de développer un modèle capable à prédire et d’optimiser le comportement de la ligne à retard 107 MHz. La comparaison entre les modélisations COM de lignes à retard et les mesures montre une bonne adéquation ainsi que l’influence majeure du coefficient de réflectivité sur le comportement et le niveau des ondulations de la phase.
Domaines
Acoustique [physics.class-ph]
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)