Revêtement d’alumine sur poudre de silice par dépôt chimique à partir d’une phase vapeur en lit fluidisé : influence de la température de dépôt

Philippe Rodriguez (1) , Brigitte Caussat (2) , Carine Ablitzer (1) , Xavière Iltis (1) , Méryl Brothier (1)

1 LCU - Laboratoire des Combustibles Uranium
2 LGC - Laboratoire de Génie Chimique

Le procédé de CVD (Chemical Vapour Deposition) en lit fluidisé a été utilisé pour revêtir des poudres de silice appartenant au groupe B de Geldart par de l'alumine. Le précurseur utilisé a été de l'acétylacétonate d’aluminium dilué dans de l'argon. L'influence de la température de dépôt a été étudiée dans une gamme peu explorée dans la littérature, entre 400 et 620 °C. Les poudres avant et après dépôt ont été analysées par MEB-FEG, spectroscopie Infra Rouge à Transformée de Fourier et analyse chimique ICP-AES. Le dépôt s'est révélé continu et d'épaisseur uniforme sur l'ensemble des poudres. Le rendement en masse d’aluminium déposé sur les poudres par rapport à la masse injectée augmente avec la température (entre 42 et 86 %), tout comme l'épaisseur déposée. Celle-ci est inférieure à 300 nm pour les dépôts réalisés à des températures inférieures ou égales à 500 °C et entre 500 et 700 nm à 600°C et 620 °C. Dans tous les cas, du carbone est présent dans les dépôts, provenant d'une décomposition imparfaite du précurseur. La morphologie du dépôt en surface des poudres varie aussi avec la température. Elle est de type 2D lamellaire en dessous de 600 °C et de type 3D nodulaire à 600 et 620 °C.

Mots clés: CVD; Lit fluidisé; Alumine; Acétylacétonate d’aluminium; Spectroscopie IRTF; MEB

Domaines: Génie chimique

Philippe Rodriguez, Brigitte Caussat, Carine Ablitzer, Xavière Iltis, Méryl Brothier. Revêtement d’alumine sur poudre de silice par dépôt chimique à partir d’une phase vapeur en lit fluidisé : influence de la température de dépôt. Science et Technologie des Poudres et Matériaux Frittés STP 2012, Jul 2012, Toulouse, France. pp.0. ⟨hal-03617699⟩