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Article Dans Une Revue NATO ASI Ser., Ser. 2 Année : 2002

Proximal Probes Induced Chemical Processing for Nanodevice Elaboration

D. Tonneau
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille
CV
N. Clément
  • Fonction : Auteur
A. Houel
  • Fonction : Auteur
N. Bonnail
  • Fonction : Auteur
H. Dallaporta
  • Fonction : Auteur
V. Safarov
  • Fonction : Auteur

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

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Soumis le : mercredi 12 janvier 2022-20:23:09

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Identifiants

  • HAL Id : hal-03523774 , version 1

Citer

D. Tonneau, N. Clément, A. Houel, N. Bonnail, H. Dallaporta, et al.. Proximal Probes Induced Chemical Processing for Nanodevice Elaboration. NATO ASI Ser., Ser. 2, 2002, Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies, 55, pp.255-281. ⟨hal-03523774⟩

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