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Communication Dans Un Congrès Année : 2021

A parametric study for the PECVD from Ar/CH4

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Plasmas Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Maxime Mikikian  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03431055

Soumis le : mardi 16 novembre 2021-14:56:00

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:24

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03431055 , version 1 (16-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03431055 , version 1

Citer

Erik von Wahl, Ianis Ellien, Thomas Lecas, Maxime Mikikian. A parametric study for the PECVD from Ar/CH4. PLATHINIUM 2021, Sep 2021, Online, France. ⟨hal-03431055⟩

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