Etching of m-plane Zn(Mg)O epitaxial films and its impact on surface leakage currents - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Semiconductor Science and Technology Année : 2021

Etching of m-plane Zn(Mg)O epitaxial films and its impact on surface leakage currents

Borislav Hinkov
Hanh Hoang
Maxime Hugues
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
Jean-Michel Chauveau
CV
Gottfried Strasser

Domaines

Physique [physics]
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Citer

Borislav Hinkov, Hanh Hoang, Maxime Hugues, Jean-Michel Chauveau, Gottfried Strasser. Etching of m-plane Zn(Mg)O epitaxial films and its impact on surface leakage currents. Semiconductor Science and Technology, 2021, 36 (3), pp.035023. ⟨10.1088/1361-6641/abdd07⟩. ⟨hal-03423387⟩

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