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Article Dans Une Revue
Surface and Coatings Technology
Année : 2021
Resistivity anisotropy of tilted columnar W and W–Cu thin films
Raya El Beainou
(1) ,
Jean-Marc Cote
(1) ,
Vincent Tissot
(1) ,
Valérie Potin
(2) ,
Nicolas Martin
(1)
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1
FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2
ICB - Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
Raya El Beainou
Fonction :
Auteur
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
Jean-Marc Cote
Fonction :
Auteur
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
Vincent Tissot
Fonction :
Auteur
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
Valérie Potin
Fonction :
Auteur
PersonId :
1193898
IdHAL :
valerie-potin
ORCID :
0000-0003-4462-3544
Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
Nicolas Martin
Fonction :
Auteur
PersonId :
180288
IdHAL :
nfmartin
ORCID :
0000-0002-1349-202X
IdRef :
159230926
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
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