Short-Pulse Laser-Assisted Fabrication of a Si-SiO2 Microcooling Device

Alexandros Mouskeftaras (1) , Stephan Beurthey (2) , Julien Cogan (2) , Gregory Hallewell (2) , Olivier Leroy (2) , David Grojo (1) , Mathieu Perrin-Terrin (2)

1 LP3 - Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
2 CPPM - Centre de Physique des Particules de Marseille

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Alexandros Mouskeftaras, Stephan Beurthey, Julien Cogan, Gregory Hallewell, Olivier Leroy, et al.. Short-Pulse Laser-Assisted Fabrication of a Si-SiO2 Microcooling Device. Micromachines, 2021, 12 (9), pp.1054. ⟨10.3390/mi12091054⟩. ⟨hal-03356892⟩