Article Dans Une Revue
Materials Science and Engineering: B
Année : 1997
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328862
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:10:43
Dernière modification le : vendredi 15 septembre 2023-10:38:30
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328862 , version 1
- DOI : 10.1016/S0921-5107(96)01927-7
Citer
P. Kleimann, B. Semmache, Martine Le Berre, D. Barbier. Thermal drift of piezoresistive properties of LPCVD polysilicon thin films between room temperature and 200 °C. Materials Science and Engineering: B, 1997, 46 (1-3), pp.43-46. ⟨10.1016/S0921-5107(96)01927-7⟩. ⟨hal-03328862⟩
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