Article Dans Une Revue
Materials Science and Engineering: B
Année : 1998
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328842
Soumis le : lundi 30 août 2021-13:58:55
Dernière modification le : vendredi 15 septembre 2023-10:38:30
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328842 , version 1
- DOI : 10.1016/S0921-5107(98)00172-X
Citer
Emmanuel Defay, Martine Le Berre, Bachir Semmache, Michel Troccaz, Daniel Barbier. Optimisation of RF magnetron sputtering and RTA-crystallisation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin films by means of the orthogonal array method. Materials Science and Engineering: B, 1998, 55 (1-2), pp.123-129. ⟨10.1016/S0921-5107(98)00172-X⟩. ⟨hal-03328842⟩
Collections
12
Consultations
0
Téléchargements