The Smoothing Effect of Si Layers in Multilayer Be/Al Mirrors for the 17- to 31-nm Range - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Technical Physics / Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki Année : 2020

The Smoothing Effect of Si Layers in Multilayer Be/Al Mirrors for the 17- to 31-nm Range

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https://hal.science/hal-03039857

Soumis le : vendredi 4 décembre 2020-09:35:34

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hal-03039857 , version 1 (04-12-2020)

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Citer

R. Pleshkov, S. Yu. Zuev, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, M. Svechnikov, et al.. The Smoothing Effect of Si Layers in Multilayer Be/Al Mirrors for the 17- to 31-nm Range. Technical Physics / Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 2020, 65 (11), pp.1786-1791. ⟨10.1134/S1063784220110201⟩. ⟨hal-03039857⟩

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