Inductive plasmas in Cl<SUB>2</SUB>/Ar : Comparison of hybrid model results with experimental measurements - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2010

Inductive plasmas in Cl2/Ar : Comparison of hybrid model results with experimental measurements

Jean-Paul Booth
Pascal Chabert
L. Gatilova
  • Fonction : Auteur
S. Bouchoule
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611280 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611280 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, et al.. Inductive plasmas in Cl2/Ar : Comparison of hybrid model results with experimental measurements. ESCAMPIG, Jul 2010, Novi Sad, Serbia. 2010. ⟨hal-02611280⟩
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