Poster De Conférence
Année : 2011
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https://hal.science/hal-02611277
Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:35:31
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02611277 , version 1
Citer
Pierre-Alexandre Delattre, S. Pouliquen, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth. Voltage Waveform Tailoring in a RF-CCP reactor: Exploration of self-bias, electron density and current waveform. ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011. ⟨hal-02611277⟩
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