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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

IN-SITU OBSERVATION OF MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILM GROWTH USING TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02594804 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594804 , version 1

Citer

E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth. IN-SITU OBSERVATION OF MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILM GROWTH USING TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS. International Vacuum Conference, Sep 2013, Paris, France. ⟨hal-02594804⟩
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