All you ever wanted to know about Fluorocarbon Plasmas but never dared to ask - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

All you ever wanted to know about Fluorocarbon Plasmas but never dared to ask

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573302

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:16

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:57

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Dates et versions

hal-02573302 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573302 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth. All you ever wanted to know about Fluorocarbon Plasmas but never dared to ask. POSMOL (International Symposium on Electron Molecule Collisions and Swarms), Jul 2011, Maynooth, Ireland. ⟨hal-02573302⟩

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