Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
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https://hal.science/hal-02573291
Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:03
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02573291 , version 1
Citer
E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth. Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers. RF Plasma workshop, May 2013, Presqu île de Giens, France. ⟨hal-02573291⟩
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