Precise measurement of ARC optical indices in the deep-UV range by variable-angle spectroscopic ellipsometry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1997

Precise measurement of ARC optical indices in the deep-UV range by variable-angle spectroscopic ellipsometry

Pierre Boher
  • Fonction : Auteur
SOPRA
Jean-Louis Stehle
  • Fonction : Auteur
SOPRA
Jean-Philippe Piel
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1057374
SOPRA
Christophe Defranoux
  • Fonction : Auteur
SOPRA
Louis Hennet
Laboratoire de Métallurgie Physique et Science des Matériaux (URA CNRS 155)
CV

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

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Soumis le : samedi 11 avril 2020-19:00:34

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:15

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Dates et versions

hal-02540741 , version 1 (11-04-2020)

Identifiants

Citer

Pierre Boher, Jean-Louis Stehle, Jean-Philippe Piel, Christophe Defranoux, Louis Hennet. Precise measurement of ARC optical indices in the deep-UV range by variable-angle spectroscopic ellipsometry. Microlithography '97, Mar 1997, Santa Clara, United States. pp.205, ⟨10.1117/12.275961⟩. ⟨hal-02540741⟩

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